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| 石墨舟的HF清洗步驟 |
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已閱：1690 2013-12-14 11:11:17 |
一般舟在運行100至150次后就應該進行清洗,這是因為石墨舟上的SiN會隨著運行次數的增加而增加，影響石墨舟的正常使用。
在室溫條件下(<40°C)，將石墨舟的部件放入HF濃度(5–20%)的腐蝕槽內進行腐蝕。最好的濃度是10%，腐蝕時間為4~6小時。低濃度條件下，腐蝕槽會被產生的SiN顆粒污染，因此需要進行定期的過濾維護。濃度高于10%會對操作人員造成危險。所有部件應該被分開放入腐蝕槽內并且不可互相接觸，這樣HF酸就可以腐蝕到任何部位，這對于石墨連接塊而言更為重要。
在2號純水槽內將其用純水漂洗4~6小時。
用PH-試紙檢查流動的水是不是中性的，必須保證所有的蝕刻殘渣(SiF4)都已經被洗掉，任何蝕刻殘渣被帶入爐管都可能引起沾污或者工藝問題。可以在石墨上看到白色的一層就是殘渣，所有部件都必須分開放置這樣可以避免酸液殘留在其中。
在85°C條件下，將分離的舟各部件烘干24小時。
石墨像海綿一樣可以蓄水并保持比較長的時間;在100°C以上烘干或者是在未干的狀態下將其送入爐管會引起水的突然氣化，這會使石墨破裂。將一個沒有完全干燥的舟放入爐管還可能導致爐門邊緣的侵蝕以及真空系統的過分沉積。
在提供的裝配臺上將舟裝配好。檢查有無損傷。
用CentroTherm提供的轉矩扳手(0.6Nm)擰緊陶瓷螺絲，石墨螺絲比較易碎，因此必須用手小心擰緊。
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